Бесплатный фрагмент - Метод электронного туннелирования. Метод измерения толщины оксидных пленок барьерного типа на проводящей поверхности металла

1. Область применения метода измерений

Метод измерения толщины оксидных пленок барьерного типа на проводящей поверхности металла может быть применен для измерения толщины сверхтонких пленок барьерного (не пористого) типа оксида металла, выращенных на его поверхности.

2. Требования к измеряемым образцам

Метод измерения предполагает работу с пленками инертных оксидов металлов, выращенных на электропроводящей подложке тех же металлов. Причем толщина пленок должна быть не менее 0,5 мкм и не более 8,5 мкм. Пленки не должны содержать значительного количества пор и других дефектов, толщина пленок должна быть одинаковой на более чем 97% ее поверхности. Метод может быть применен для измерения толщины пленок при условии наличия не менее чем двух образцов пленок выращенных на металлических проводящих подложках. Суммарный продольный линейный размер подложек должен быть не менее 2 см и не более 3 см.

3. Необходимое оборудование

Для проведения измерений толщины методом электронного туннелирования требуется собрать измерительную установку, состоящую из:

3.1. Тиски общего назначения неповоротные без ускоренного холостого хода площадью губ не менее 4 см2 по ГОСТ 4045—75.

3.2. Динамометр сжатия. Пределы измерения от 0,0 Н до 100,0 Н. Класс 0,5 по ГОСТ 13837—79. Линейный размер датчика не должен превышать 2 см.

3.3. Резистор проволочный 30,000 Ом по ГОСТ 21414—75.

3.4. Омметр. Пределы измерений от 0,00 Ом до 100,00 Ом. Класс 0,5.

3.5. Амперметр. Пределы измерений от 0 мА до 100 мА. Класс 0,5.

3.6. Вольтметр. Пределы измерений от 0,000 В до 5,000 В. Класс 0,5.

3.7. Источник питания постоянного тока низковольтный по МЭК 61204:2001.

3.8. Соединительные провода и клеммы медные. Сумма размеров клемм для подключения к проводящим металлическим подложкам не должна превышать 7,5 см. Диаметр поперечного сечения всех проводов должен быть одинаковым и равным 0,5—1,0 мм.

3.9. Весы аналитические. Пределы измерений от 0,000 г до 5,000 г.

3.10. Электронный секундомер. Рекомендуется использование электронных автоматических схем включения и выключения прибора-измерителя времени по достижении напряжением в цепи заданного значения.

4. Условия проведения измерений